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一、能譜定量不準確的原因

能譜（EDS）結合掃描電鏡使用，能進行材料微區元素種類與含量的分析。其工作原理是：各種元素具有自己的X 射線特征波長，特征波長的大小則取決于能級躍遷過程中釋放出的特征能量E，能譜儀就是利用不同元素X 射線光子特征能量不同這一特點來進行成分分析的。

能譜定量分析的準確性與樣品的制樣過程，樣品的導電性，元素的含量以及元素的原子序數有關。因此，在定量分析的過程中既有一些原理上的誤差（數據庫及標準），我們無法消除，也有一些人為因素產生的誤差（操作方法），這些因素都會導致能譜定量不準確。