www夜夜骑丨岛国av毛片丨欧美成人免费网址丨无遮挡激情视频国产在线观看丨日本黄网站丨中国国产野外1级毛片视频丨日韩视频在线观看免费视频丨2021年国产精品专区丝袜丨欧美人与动另类xxxx丨天躁夜夜躁2021aa91丨国产三级精品三级男人的天堂丨国产情侣真实54分钟在线丨久久伊人精品一区二区三区丨欧美亚洲在线丨国产呦小j女精品视频丨午夜dv内射一区二区丨全部免费毛片在线播放丨伊人性伊人情综合网丨色婷婷激情五月丨亚洲精品成人a8198a丨久久国产午夜精品理论片34页丨国产主播一区二区丨欧美视频性丨哺乳期av丨茄子视频色

希臘神話中普羅米修斯竊取天機，為人類帶來火焰與文明。而納米科學家們無疑是我們時代的“普羅米修斯"。原子層沉積技術（ALD）作為一種精確到原子層面的沉積技術，探尋各種各樣的配方就如同“納米盜火者"一般，將微觀世界的火種帶入現實。

ALD 反應依賴于多種前驅體化學物質得到最終產物的一種氣相沉積技術。由于 ALD 反應的自限制特性，前驅體通常是過量的，從而保證表面的飽和化學吸附，實現均勻包覆。在半導體工藝中，ALD 技術已經得到廣泛應用。近年來，隨著粉末 ALD 包覆研究：PALD（Particle ALD）的興起，前驅體的開發被賦予了更高的使命與要求。開發新型 ALD 前驅體，將是“納米盜火者"們不竭的使命。

開發各類前驅體是進行 ALD 反應的關鍵

對于粉末樣品，由于比表面積的增大，消耗的前驅體量也呈幾何數量級增長。這意味著，相同質量下，粉末樣品需要更多的前驅體進行 ALD 反應。而粉末的粒徑越小，其比表面積越大。相同質量的平面器件其表面積與 1mm 直徑粉末相差 10 倍以上，而與 10µm 粉末比表面差異更接近 16000 倍，相當于一張課桌與標準足球場面積的差別。

粉末 ALD 需要覆蓋的表面積遠遠高于平面器件

高比表面積的粉末樣品不僅對前驅體的用量提出更高的要求，前驅體的存儲以及輸送方式同樣重要。對于半導體行業而言，公斤級的前驅體儲存瓶即可滿足連續的生產要求。但粉末 ALD 包覆，尤其是鋰電，金屬等粉末樣品，每年的處理量可達到噸級甚至百噸級，因此前驅體的供應需要使用更大的儲存系統。

粉末 ALD 對前驅體供應要求的范式轉變

此外，并不是所有平面半導體工藝配方都可以被移植到粉末工藝中，而對于復雜的粉末包覆需求，大量使用現有的前驅體將推高使用成本。開發質量更高，成本更低的批量前驅體制備技術將是大規模應用 PALD 技術的必然選擇。

目前，能提供大批量前驅體的企業qu指可數，而法國液化空氣集團 Air Liquid 便是其中的之一。多年來，Air Liquid 已為眾多行業的客戶提供服務，更是全球zui大的工業氣體供應商。為了開發新一代氣相前驅體，Air Liquid 在全球設立 ALOHA 制造中心，已經成功為半導體 45nm 以下 ALD 工藝提供從克級到噸級的前驅體產品。

Air Liquid 的高介電常數鋯基前驅體產品

前驅體的開發離不開 ALD 設備的支持與驗證，尤其是對于粉末樣品，好的研究工具是驗證配方可行性的重要平臺。Forge Nano 是全球wei一可提供工業級 PALD 技術設備服務的企業。旗下的 P 系列 Prometheus 流化床粉末包覆系統可提供單次最高公斤級的粉末樣品處理量，是理想的 PALD 研發工具。Air Liquid 作為 Forge Nano 的投資者與合作伙伴，在日本分公司的東京創新園區使用 Prometheus ™ 研發系統來驗證用于  PALD 的 ALD 前驅體開發。

P 系列 Prometheus 的特點：

· 單批次 1mL – 600ml (~1kg) 粉末
· 專li的流化技術可實現均勻的流化和沉積
· 最高 8 通道 ALD 前驅體通道
· 可更換的反應器腔室，確保不同批量粉末的精準包覆
· 敏感粉末的惰性隔離和處理能力

P 系列流化床粉末 ALD 包覆系統

“Forge Nano 將 Air Liquide 視為各個成熟市場的關鍵戰略投資者和合作伙伴。我們很高興為他們提供研究系統，以加速 PALD 技術在日本和全球新應用的采用。一旦 Air Liquid 驗證成功，我們將為終端客戶提供工藝生產規模的 PALD 設備。"—— Forge Nano 產品管理總監 Daniel Higgs 博士

“Forge Nano 是 PALD 工藝開發和產業化的ling導者。作為 ALD 前驅體“設計者"和供應商，我們很高興安裝 Prometheus PALD 系統來支持我們的 ALD 前驅體開發，為我們的全球客戶和合作伙伴提供服務。"—— Air Liquid 先進材料新興市場全球總監 Nicolas Blasco

關于 Forge Nano

Forge Nano 是 PALD 技術供應商，可提供從毫克到千噸級的粉末包覆“端到端"解決方案。目前已經接收包括大眾，LG 化學，三井金屬等企業的投資，開展鋰電電極材料以及金屬材料粉末 ALD 包覆的應用開發。

關于 Air Liquid

Air Liquid 是工業和健康領域氣體、技術和服務的全球ling導者，其業務遍及 78 個國家/地區，擁有約 64,500 名員工，為超過 380 萬客戶提供服務。Air Liquid 的先進材料正在改變電子和技術科學。通過原子級工程進行創新，為世界的生活、工作方式開辟無數新的可能。旗下的 ALOHA™ 和 Voltaix® 產品對于制造大數據和物聯網所需的計算機芯片至關重要。